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| 開講年度 | 2018 年度 | |
|---|---|---|
| 開講区分 | 工学部電気電子工学科 ・専門教育 | |
| 受講対象学生 |
学部(学士課程) : 3年次 |
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| 選択・必修 | 選択 選択科目 |
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| 授業科目名 | 真空電子工学 | |
| しんくうでんしこうがく | ||
| Vacuum Electronics Engineering | ||
| 単位数 | 2 単位 | |
| 他学部・他研究科からの受講 |
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| 市民開放授業 | 市民開放授業ではない | |
| 開講学期 |
前期 |
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| 開講時間 |
水曜日 3, 4時限 |
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| 開講場所 | 工学部１０番教室 | |
| 担当教員 | 岩田達夫（非常勤講師） 畑浩一（工学部電気電子工学科） |
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| IWATA, Tatsuo HATA, Koichi |
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| 授業の概要 | 荷電粒子（電子・イオン）を用いたデバイスおよび分析機器は，電子デバイスの評価・性能向上にとって重要視されている．本科目では，荷電粒子を用いた分析装置の構成要素である電子・イオン源の物理的基礎をはじめとして，荷電粒子ビームの輸送・操作の原理について学ぶ．さらに，荷電粒子ビームを応用した分析装置について教授する． |
|---|---|
| 学習の目的 | 荷電粒子（電子・イオン）に関する物理現象として，電子・イオン放出，および固体との相互作用を理解し，工学的に利用されている分析機器の動作原理を習得する． |
| 学習の到達目標 | 荷電粒子（電子・イオン）の放出現象の物理的基礎を理解し，真空中での荷電粒子ビームの輸送と操作について習得する．さらに，荷電粒子と固体との相互作用についての理解を深め，荷電粒子ビームを応用した装置についての知識を得る． |
| ディプロマ・ポリシー |
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| 授業の方法 | 講義 |
| 授業の特徴 | |
| 教科書 | 石川順三「荷電粒子ビーム工学」（コロナ社） |
| 参考書 | 高木俊宜「電子・イオンビーム工学」（電気学会） 桜庭一郎「電子菅工学」（森北出版） |
| 成績評価方法と基準 | 以下の方式で配点を行い，総合の60%以上を合格とする。 定期試験：80%，演習20%（70%以上出席したものを単位授与の対象者とする。） |
| オフィスアワー | オフィスアワー：毎週金曜日12:00～18:00 教授室：電気電子棟２階 連絡方法：電子メールhata@elec.mie-u.ac.jp（訪問予定をE-mailで尋ねてください。） |
| 受講要件 | |
| 予め履修が望ましい科目 | 基礎物理学I，化学Ⅰ，基礎物理学III，基礎電磁気学及び演習，電磁気学及び演習I・II，材料科学，量子力学，固体電子工学 |
| 発展科目 | 半導体工学II，光エレクトロニクス，高電圧工学，電気電子工学応用実験 |
| 授業改善への工夫 | |
| その他 |
| キーワード | 電子，イオン，真空技術，電子光学，気体分子運動論、イオン化、プラズマ |
|---|---|
| Key Word(s) | Electron, Vacuum Technology, Electron Optics, Kinetic Theory of Gases, Ionization, Plasma |
| 学習内容 | 第１回 電子とイオンの性質 第２回 空間電荷効果 第３回 電子の発生：熱電子放出 第４回 電子の発生：電界放出 第５回 イオンの発生：プラズマによるイオンの発生 第６回 電界蒸発によるイオンの発生 第７回 電磁場中での荷電粒子の振る舞い 第８回 ビームの輸送と操作：電磁界偏向 第９回 ビームの輸送と操作：静電レンズ 第10回 ビームの輸送と操作：磁界レンズ 第11回 ビームの輸送と操作：質量分離 第12回 電子ビームと固体原子の相互作用 第13回 イオンビームと固体原子の相互作用 第14回 電子ビームの応用 第15回 イオンビームの応用 第16回 期末試験 |
| 事前・事後学修の内容 | 各講義において、以下に示す予習・復習を行うこと 予習：テキストの該当箇所を読んでおくこと。 復習：講義内容や演習で行った問題について復習すること。 |
| ナンバリングコード(試行) | EN-EMAT-3 |
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※最初の2文字は開講主体、続く4文字は分野、最後の数字は開講レベルを表します。 ナンバリングコード一覧表はこちら